应用场景Application Scenario

半导体行业

2024-08-06(179)次浏览

在技术壁垒极高的半导体制造业中,广东玛钛真空泵凭借其卓越性能,已成为众多关键工艺环节不可或缺的核心部件。从晶圆前端制造开始,玛钛真空泵就在薄膜沉积(CVD/PVD)、刻蚀(Etch)和离子注入等制程中,为反应腔室创造并维持稳定的高真空乃至超高真空环境,确保原子级加工的精准与纯净。其产品特别注重耐腐蚀设计与极低的油气污染,能有效应对工艺中产生的剧毒、腐蚀性副产物,极大降低了晶圆产品被微粒和烃类污染的风险,保障了芯片的高良率与可靠性。此外,在后道的封装与测试环节,其干式真空泵也同样应用广泛。通过提供洁净、高效且可靠的真空解决方案,广东玛钛有力地支持了中国半导体产业链在提升自主可控能力与先进制程水平方面的持续突破。




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